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產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心輪廓儀接觸式輪廓儀P7晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀

晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

P-7晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能,并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了好的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來(lái)看, P-7具有較好的測(cè)量重復(fù)性。

產(chǎn)品型號(hào):P7
更新時(shí)間:2024-06-17
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:5002
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品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,綜合

傳感器具有動(dòng)態(tài)力控制,良好的線性,和精準(zhǔn)的垂直分辨率等特性友好的用戶界面和自動(dòng)化測(cè)量可以適配大學(xué)、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應(yīng)用場(chǎng)景。

KLA是全球半導(dǎo)體在線檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)較大的供應(yīng)商,在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、 MEMS 、太陽(yáng)能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著不俗的市占率。P-7是KLA公司的第八代探針式臺(tái)階儀系統(tǒng),作為晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新,集合眾多技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

二、 功能

晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀設(shè)備特點(diǎn):  

臺(tái)階高度:幾納米至1000um  

微力恒力控制:0.03mg至50mg  

樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接  

視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)  

圓弧矯正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差  

生產(chǎn)能力:通過(guò)測(cè)序,模式識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化  

主要應(yīng)用:  

薄膜/厚膜臺(tái)階  

刻蝕深度測(cè)量  

光阻/光刻膠臺(tái)階  

柔性薄膜  

表面粗糙度/波紋度表征  

表面曲率和輪廓分析  

薄膜的2DStress量測(cè)  

表面結(jié)構(gòu)分析  

表面3D輪廓成像  

缺陷表征和分析  

其他多種表面分析功能

三、應(yīng)用案例

臺(tái)階高度

   P-7可以提供納米級(jí)到1000μm的2D和3D臺(tái)階高度的測(cè)量。 這使其能夠量化在蝕刻,濺射,SIMS,沉積,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-7具有恒力控制功能,無(wú)論臺(tái)階高度如何都可以動(dòng)態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。這保證了良好的測(cè)量穩(wěn)定性并且能夠測(cè)量諸如光刻膠的軟性材料。

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紋理:粗糙度和波紋度

   P-7提供2D和3D紋理測(cè)量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測(cè)量值分為粗糙度和波紋度部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。

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紋理:粗糙度和波紋度

   P-7提供2D和3D紋理測(cè)量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測(cè)量值分為粗糙度和波紋度部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。

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應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

   P-7能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測(cè)量樣品翹曲。然后通過(guò)應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來(lái)計(jì)算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過(guò)在直徑達(dá)200mm的樣品上通過(guò)單次掃描測(cè)量,無(wú)需圖像拼接。3D應(yīng)力的測(cè)量采用多個(gè)2D掃描,并結(jié)合θ平臺(tái)在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對(duì)整個(gè)樣品表面進(jìn)行測(cè)量。

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缺陷復(fù)檢

   缺陷復(fù)查用于測(cè)量如劃痕深度之類的缺陷形貌。缺陷檢測(cè)設(shè)備找出缺陷并將其位置坐標(biāo)寫入KLARF文件。“缺陷復(fù)檢”功能讀取KLARF文件、對(duì)準(zhǔn)樣本,并允許用戶選擇缺陷進(jìn)行2D或3D測(cè)量。

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